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集成加速表设计

清华大学学报（自然科学版） 1998年第11期38卷 19-22页

作者：赵长德高钟毓清华大学精密仪器与机械学系

以ＭＥＭＳ（微型机电系统）为基础的惯性仪表在汽车、计算机、导航等领域都将有广泛的应用。为了制作出低价格、小尺寸、中等精度的微型加速度计，有必要将接口电路和敏感元件集成在一个芯片上。本文介绍了一个体加工工艺的微机械敏感... 详细信息

以ＭＥＭＳ（微型机电系统）为基础的惯性仪表在汽车、计算机、导航等领域都将有广泛的应用。为了制作出低价格、小尺寸、中等精度的微型加速度计，有必要将接口电路和敏感元件集成在一个芯片上。本文介绍了一个体加工工艺的微机械敏感元件（包括一个差动电容结构）；分析了一种ＣＭＯＳ前置缓冲放大器和增量求和（Δ）原理的静电力反馈系统并且用计算机进行了仿真；同时对系统噪音进行了讨论。这个前置缓冲放大器可以达到２２ＭＨｚ的单位增益带宽和很小的运放输入电容。Δ反馈回路可以得到高精度和高线性度的数字输出。

关键词：加速度计微机械加工设计集成加速表

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惯性定位系统的一种数据接口的设计

清华大学学报（自然科学版） 1998年第11期38卷 36-37页

作者：张嵘董景新赵长德清华大学精密仪器与机械学系

惯性定位系统在区域测量、海洋和航空测量等方面均有广阔的应用前景。惯性测量精度通常要求比惯性导航精度高几个数量级。为此，从惯性平台到数据处理计算机的接口是很重要的。该文介绍了对一种惯导系统数据接口的分析，以及惯导系统与... 详细信息

惯性定位系统在区域测量、海洋和航空测量等方面均有广阔的应用前景。惯性测量精度通常要求比惯性导航精度高几个数量级。为此，从惯性平台到数据处理计算机的接口是很重要的。该文介绍了对一种惯导系统数据接口的分析，以及惯导系统与数据处理计算机的接口电路的设计。实际使用结果表明，分析结果是正确的，接口电路工作可靠，功能较为完善。

关键词：惯性定位系统惯性测量系统接口导航计算机

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微机械加速度计的研究

清华大学学报（自然科学版） 1998年第11期38卷 4-8页

作者：高钟毓赵长德张嵘董景新清华大学精密仪器与机械学系

讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求，以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加速度计的敏感元件和位移检测电路的灵敏度公式。叙述了敏感... 详细信息

讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求，以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加速度计的敏感元件和位移检测电路的灵敏度公式。叙述了敏感元件的体硅溶解薄片法制造工艺。从热噪声和电噪声两方面分析了这种加速度计的精度极限，相对于当地重力加速度应该能达到１０－５。但是，试验样机的初步实验结果表明，目前精度只有１０－２～１０－３，因此，还有巨大潜力。

关键词：微机械加速度计噪声微加工体硅溶解薄片法

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热值反馈系统在池炉燃气供应系统中的应用

清华大学学报（自然科学版） 2003年第2期43卷 168-171页

作者：郑斌赵长德刘俊德清华大学精密仪器与机械学系北京100084 河南安彩集团动力厂安阳455000

为了提高彩管玻壳的生产质量,要求对做为玻璃炉窑燃料的天然气的热值进行精确控制。利用对空气流加热的方法在线测量燃气的热值,通过给燃气加入空气调整燃气热值,设计了燃气热值反馈调节系统。系统采用前馈和双闭环的调整方法,有效地保... 详细信息

为了提高彩管玻壳的生产质量,要求对做为玻璃炉窑燃料的天然气的热值进行精确控制。利用对空气流加热的方法在线测量燃气的热值,通过给燃气加入空气调整燃气热值,设计了燃气热值反馈调节系统。系统采用前馈和双闭环的调整方法,有效地保障了池炉燃气供应系统的良好的热值调节质量。试验表明反馈控制系统控制精度达到1.0%,响应时间为6s,采用热值反馈系统后燃气热值波动范围由原来的40.9～42.8MJ/m3减小为34.5～34.7MJ/m3,满足了玻壳生产对玻璃熔化质量的要求。

关键词：热值反馈系统池炉燃气供应系统玻璃炉窑热值控制在线测量反馈调节

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单片伺服加速度计及其应用

仪表技术与传感器 1998年第2期 14-18页

作者：赵长德徐毓娴清华大学

本文概述单片伺服加速度计的原理和基本结构，伺服电路的组成和特点，并介绍了ＡＤ公司生产的单片加速度计的性能指标和应用电路，以及信号调节的方法。给出了部分实验数据，最后说明了该加速度计的典型应用。

关键词：单片伺服加速度计电容传感器静电反馈力

集成加速度传感器及其在汽车舒适性评价中的应用

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清华大学学报（自然科学版） 1998年第11期38卷 9-11,15页

作者：徐毓娴赵长德孙旭东赵鹏清华大学精密仪器与机械学系

集成加速度传感器在国外已广泛用于汽车安全性及性能测试。本文介绍了一种力平衡式硅微加速度传感器的原理、结构，并在国家标准振动测试中心对它进行了标定。首次用该传感器系统做了两种车型，５种车速行进时的汽车舒适性评价实验。结... 详细信息

集成加速度传感器在国外已广泛用于汽车安全性及性能测试。本文介绍了一种力平衡式硅微加速度传感器的原理、结构，并在国家标准振动测试中心对它进行了标定。首次用该传感器系统做了两种车型，５种车速行进时的汽车舒适性评价实验。结果表明：适于装在汽车内部，进行各种振动舒适性评价，且价格低廉，结构简单，有广阔应用前景。

关键词：加速度传感器舒适性评价振动测试汽车

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微机械加速度计的集成化数字接口

传感器技术 2005年第1期24卷 84-86页

作者：鲍方董景新赵长德清华大学精密仪器系北京100084

在传感器技术的发展过程中,传统模拟输出传感器由于具有一些固有局限,正在逐渐被数字输出传感器所取代。数字技术的应用使传统传感器成为智能传感器,并具有集成化、智能化、网络化、系统化等新特点。介绍以传统模拟传感器技术为基础,在... 详细信息

在传感器技术的发展过程中,传统模拟输出传感器由于具有一些固有局限,正在逐渐被数字输出传感器所取代。数字技术的应用使传统传感器成为智能传感器,并具有集成化、智能化、网络化、系统化等新特点。介绍以传统模拟传感器技术为基础,在惯性测量器件———微机械加速度传感器上集成数字接口,使之成为智能化传感器的一种设计方案。

关键词：微机械加速度计数字技术传感器

具有零偏补偿功能的电容式微加速度计接口电路

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清华大学学报（自然科学版） 2010年第11期50卷 1815-1819页

作者：刘民杰池保勇刘云峰董景新赵长德清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学微电子学研究所北京100084

为了实现了电容式传感器和其他信号处理电路之间的接口,提出了一种电容式传感器接口电路。该接口电路基于开关电容技术,采用采样电荷结构,并在其前端读出电路采用采样开关噪声消除技术,在0.35μm 2P-4 M CMOS标准工艺下设计并流片实现,... 详细信息

为了实现了电容式传感器和其他信号处理电路之间的接口,提出了一种电容式传感器接口电路。该接口电路基于开关电容技术,采用采样电荷结构,并在其前端读出电路采用采样开关噪声消除技术,在0.35μm 2P-4 M CMOS标准工艺下设计并流片实现,且特别适用于开环或力平衡闭环电容式微加速度计和振动角速度陀螺仪应用。测试结果表明:在1 MHz的采样时钟下,该接口电路取得了约5.35 aF的电容分辨率和约0.173 ***-1/2的噪声基底。

关键词：微加速度计接口电路开关电容采样电荷噪声基底

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加速度计测量大振幅运动的一种低成本方法

仪器仪表学报 2001年第z2期22卷 370-页

作者：朱峰赵长德清华大学精密仪器与机械学系北京100084

本文介绍了一种由微机械加速度计做测量单元、单片机作控制单元的系统。该系统体积小、精度高、稳定可靠 ,利用它对抽油机进行测量和控制 ,可以达到提高效率。

关键词：抽油机微机械加速度计振动测量