检索结果-南通市图书馆

一种AlN基热隔离MEMS阵列风速传感器设计

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仪器仪表学报 2012年第12期33卷 2819-2824页

作者：赵文杰施云波罗毅李国龙周真哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室哈尔滨150080

采用微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(aluminum nitride,AIN)基热隔离四阵列热流量风速风向传感器,并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0.2 mm的AlN基片上通过光刻剥离工艺和激... 详细信息

采用微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(aluminum nitride,AIN)基热隔离四阵列热流量风速风向传感器,并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0.2 mm的AlN基片上通过光刻剥离工艺和激光微加工工艺实现2D微结构风速风向传感器制备。传感器由中间加热器、4个温度探测器和1个温度传感器组成,4个温度探测器之间通过激光微加工刻蚀8个热隔离通孔以减少热传导损失,提高有效热流量交换。通过对传感器的ANSYS仿真及性能测试,验证了设计的合理性及工艺的可行性。分析得出采用热隔离通孔可有效提高4个探测器的灵敏度,降低了加热电极的热传导损失,减小了传感器设计尺寸,提高了设计的集成度。传感器测试结果表明:最大角度差为5°,速度误差小于0.5 m/s。加热功耗为120 mW,响应时间仅3 s。

关键词：风速传感器氮化铝热流量微机电系统

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新型酞菁有机半导体材料的制备及气敏性研究

材料科学与工艺 2011年第2期19卷 108-112页

作者：李赞吴晓宏姜文锐施云波哈尔滨工业大学理学院哈尔滨150001 哈尔滨学院生命科学与化学学院哈尔滨150086 哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150001 哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院哈尔滨150080

针对无机半导体气体传感器材料可修饰性差、工作温度高等缺点,开展了新型金属酞菁类有机半导体气敏材料的研究,并对敏感材料进行了表征,测试结果与化学结构和理论值一致.采用微电子工艺制备平面叉指电极,采用旋涂技术,在叉指电极上形成... 详细信息

针对无机半导体气体传感器材料可修饰性差、工作温度高等缺点,开展了新型金属酞菁类有机半导体气敏材料的研究,并对敏感材料进行了表征,测试结果与化学结构和理论值一致.采用微电子工艺制备平面叉指电极,采用旋涂技术,在叉指电极上形成敏感膜,对制备的旋涂膜进行红外光谱(IR)和原子力扫描电镜(AFM)表征,AFM图像表明薄膜表面均匀、平滑和致密.按照静态法测试了薄膜对NO2气体的气敏特性,结果表明,在室温和50℃时质量浓度为6.5 mg/mL的PbPc(iso-PeO)8旋涂膜相较于CuPc(iso-PeO)8、NiPc(iso-PeO)8旋涂膜表现出对NO2气体更好的敏感性和响应恢复性.

关键词：有机半导体气敏材料 NO2

基于MEMS纳米孔Al2O3基板的CuCl2／CuPc传感器及机理研究

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高技术通讯 2007年第1期17卷 54-58页

作者：施云波郭建英张洪泉时强安宏亮哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院哈尔滨150080

用MEMS微加工方法，以具有90～100nm孔柱的Al2O3膜为基板，设计并制作了具有φ0．2mm微孔通道的气体传感器芯片，并通过真空镀膜方法把CuCl2杂化修饰的CuPc蒸镀成气敏膜，以微壳封装方法制成微结构传感器，实现了主动吸气的检测模式，... 详细信息

用MEMS微加工方法，以具有90～100nm孔柱的Al2O3膜为基板，设计并制作了具有φ0．2mm微孔通道的气体传感器芯片，并通过真空镀膜方法把CuCl2杂化修饰的CuPc蒸镀成气敏膜，以微壳封装方法制成微结构传感器，实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性。通过SEM观察，可见良好的膜表面形貌和尺寸：Al2O3膜基板厚度为0．25mm，侧面为柱状紧密体，表面呈现90～100nm纳米孔活性态；用做电极和加热器的Pt膜的厚度为500nm，柱状密排；敏感膜厚为150nm，连续规整；微壳深度为150～200μm。测试结果表明，传感器对液氯蒸气具有较好的气敏性，其灵敏度为0．01％ Cl2浓度下的5倍以上，响应时间小于30s，并呈现N型半导体的变化规律。分析了改变通气状态和加热电压等条件时对传感器气敏性的影响，探讨了CuPc有机半导体的气敏机理。

关键词： MEMS Al2O3纳米孔柱微壳封装 CuPc传感器气敏机理

激光微加工纳米孔Al_2O_3陶瓷膜的方法及分析

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稀有金属材料与工程 2008年第A1期37卷 817-820页

作者：施云波郭建英张洪泉时强哈尔滨理工大学黑龙江哈尔滨150080

针对超薄型Al_2O_3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法。阐述了激光微加工的原理,通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲。论述了纳米孔Al_2O_3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al_2O_3膜易碎易断... 详细信息

针对超薄型Al_2O_3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法。阐述了激光微加工的原理,通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲。论述了纳米孔Al_2O_3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al_2O_3膜易碎易断的内在原因,加工区域略有灼烧现象。分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的刻槽深度和宽度的关系,影响区最小时,调Q频率在9 kHz左右,电流应控制在10～20A。

关键词：激光微加工纳米孔陶瓷膜声光调Q频率

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带风向识别的风速传感技术研究

仪器仪表学报 2006年第Z2期27卷 1669-1671页

作者：张洪泉施云波冯侨华郭建英哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院

为了提高矿井风速监测和控制水平,研究了一种基于热膜式原理的高精度风速传感器,为满足矿井救灾时需明确风向需求,设计了风向的正、反方向识别功能,同时为提高风速传感器可靠性水平,采用了冗余设计的思想增加了风速敏感膜贮备系统,风速... 详细信息

为了提高矿井风速监测和控制水平,研究了一种基于热膜式原理的高精度风速传感器,为满足矿井救灾时需明确风向需求,设计了风向的正、反方向识别功能,同时为提高风速传感器可靠性水平,采用了冗余设计的思想增加了风速敏感膜贮备系统,风速传感器采用恒温式工作原理,测量范围0．2～15m／s,具有动态特性好、测量精度高、可靠稳定的特点。

关键词：风向风速热膜传感器冗余设计

半导体气体传感器动态温度调制系统设计及检测方法研究

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传感技术学报 2016年第9期29卷 1365-1371页

作者：于洋赵文杰王欣王暄施云波哈尔滨理工大学测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室哈尔滨150080 哈尔滨理工大学黑龙江省电介质工程国家重点实验室培育基地哈尔滨150080

针对半导体气体传感器存在选择性差的问题,通过温度调制检测方法实现可燃性气体良好检测性能,提高传感器在复杂环境下的选择性。设计了一种参数可调的气体传感器温度调制系统,实现了正弦波和矩形波输出模式,输出频率0~1 000 Hz,幅值0~5 ... 详细信息

针对半导体气体传感器存在选择性差的问题,通过温度调制检测方法实现可燃性气体良好检测性能,提高传感器在复杂环境下的选择性。设计了一种参数可调的气体传感器温度调制系统,实现了正弦波和矩形波输出模式,输出频率0~1 000 Hz,幅值0~5 V可调,矩形波占空比可调,并给出了系统总体设计方案和硬件设计电路。通过自制旁热式Sn O2传感器对CO和CH4两种可燃性气体进行了矩形波温度调制检测分析,得到了优化的温度调制参数。提出以传感器在空气和被测气体响应中温度调制幅值比作为灵敏度系数。测试结果表明,CO和CH4气体在周期10 s的方波温度调制下呈良好的近似线性规律变化,且具有较好的线性度差异,表明两种气体具有选择性差异。

关键词：气体传感器选择性温度调制矩形波

融合大功率点追踪和寻光感知技术的太阳能智能跟踪系统设计

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电网技术 2014年第1期38卷 87-92页

作者：施云波葛春志王萌萌汪亚东渠立亮测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室哈尔滨理工大学黑龙江省哈尔滨150080

针对目前跟踪式太阳能光伏电池发电系统跟踪误差较大、抗干扰性较差、系统耗能较高等问题,融合大功率点追踪(maximum power point tracking,MPPT)和智能寻光感知技术设计了套太阳能光伏电池跟踪系统,实现了光电转化效率的大化。运用投... 详细信息

针对目前跟踪式太阳能光伏电池发电系统跟踪误差较大、抗干扰性较差、系统耗能较高等问题,融合大功率点追踪(maximum power point tracking,MPPT)和智能寻光感知技术设计了套太阳能光伏电池跟踪系统,实现了光电转化效率的大化。运用投影原理研制了寻光传感器,加入光强感测单元构成智能寻光感知模块,消除气候条件影响实现系统全天候的运行工作。为降低系统功耗,将跟踪方式设计为离散式,系统空闲时断电待机。对实现大功率点跟踪的扰动观察法进行优化改进,提出差别化扰动方式避免了扰动观察法在大功率点附近产生震荡及光强变化时的误动作。经实验验证,该系统跟踪分辨力可达到0.344?,系统误差小于2.5°,系统充电效率提高40%以上。

关键词：太阳能光伏电池最大功率点跟踪寻光感知模块离散式跟踪

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谐波分析及交流比较的高空温度探测方法研究

仪器仪表学报 2014年第4期35卷 721-729页

作者：罗毅施云波渠立亮汪亚东孟上九哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室哈尔滨150080

针对高空环境下温度变化快、外界高频噪声和高斯白噪声影响大、电路板走线对温度传感器基值有影响的3个问题,研究了一种基于谐波分析测量及交流比较的高空温度探测方法。设计了直径为2.5μm,纯度为99.999%,长度为4 cm的铂电阻丝作为温... 详细信息

针对高空环境下温度变化快、外界高频噪声和高斯白噪声影响大、电路板走线对温度传感器基值有影响的3个问题,研究了一种基于谐波分析测量及交流比较的高空温度探测方法。设计了直径为2.5μm,纯度为99.999%,长度为4 cm的铂电阻丝作为温度敏感单元。采用交流比较法温度测量方法能够有效提高信号的信噪比,消除了零点漂移及温度漂移,解决了由于电路板走线引起的温度传感器基值偏大的问题;用谐波分析法对温度数据进行处理,能够滤除A/D产生的量化噪声,减小了高空环境下的高频噪声及高斯白噪声对测量的干扰,依据MATLAB对该法进行仿真实验,获得理想的测量效果。将谐波分析法及交流比较法用于高空探空仪的高空温度探测,设计了高空探空仪,并进行了地面及高空实验,从而验证该方法的有效性与科学性。

关键词：铂电阻丝交流比较法谐波分析高空探空仪

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纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用

传感器技术 2000年第6期19卷 1-3,6页

作者：施云波陈耐生信息产业部电子第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 福州大学化学系福建福州350002

纳米技术可获得高活性的气敏陶瓷材料，利用纳米技术的二大效应即表面效应和量子尺寸效应，可使气体传感器的灵敏度和选择性提高，着重地介绍气敏材料纳米化的机理基础，制备方法及工艺控制。

关键词：纳米技术气敏材料半导体陶瓷气体传感器