激光微加工纳米孔Al_2O_3陶瓷膜的方法及分析

作     者：施云波 郭建英 张洪泉 时强 Shi Yunbo;Guo Jianying;Zhang Hongquan;Shi Qiang

作者机构：哈尔滨理工大学黑龙江哈尔滨150080 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2008年第37卷第A1期

页      面：817-820页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 080501[工学-材料物理与化学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：重大基础(973)前期研究专项"新型陶瓷膜电化学腐蚀生长及其微加工技术基础研究"资助(2003CCC01100) 

主　　题：激光微加工 纳米孔陶瓷膜 声光调Q频率 

摘      要：针对超薄型Al_2O_3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法。阐述了激光微加工的原理,通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲。论述了纳米孔Al_2O_3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al_2O_3膜易碎易断的内在原因,加工区域略有灼烧现象。分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的刻槽深度和宽度的关系,影响区最小时,调Q频率在9 kHz左右,电流应控制在10～20A。