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静电驱动微机械陀螺仪的研究

静电驱动微机械陀螺仪的研究

作者：张林欣中国科学技术大学

学位级别：硕士

微机械陀螺仪是一种重要的惯性仪器,主要用来测量物体的旋转角速度或角加速度。它在消费电子、汽车、国防制导、航空航天等领域具有广泛应用。我国在这个领域的研究滞后于西方发达国家,特别是高性能的微机械陀螺仪核心器件的研究还处于... 详细信息

微机械陀螺仪是一种重要的惯性仪器,主要用来测量物体的旋转角速度或角加速度。它在消费电子、汽车、国防制导、航空航天等领域具有广泛应用。我国在这个领域的研究滞后于西方发达国家,特别是高性能的微机械陀螺仪核心器件的研究还处于起步阶段。本文提出一种全对称的多环振动结构静电驱动微机械陀螺仪,从理论基础、工作原理、结构设计、性能仿真、加工工艺、器件测试等几个方面进行了研究,主要包括以下内容:(1)静电驱动微机械陀螺仪的理论研究。详细分析了微机械陀螺仪理论基础科里奥利效应,建立质量弹簧阻尼模型;利用机械动力学分析器件性能并得到机械灵敏度表达式;基于微机械陀螺仪静电驱动、电容检测的原理,分析了提高微机械陀螺仪性能的方法并着重就静电调修进行分析。(2)静电驱动微机械陀螺仪的基本结构设计与仿真。通过比较选型,确立多环结构为本陀螺仪的基本设计类型;利用计算机软件对器件进行模态分析,得到驱动模态的谐振频率为21052 Hz,敏感模态的谐振频率为21545 Hz;分析了阻尼对器件性能的影响,利用谐响应分析计算了不同固定阻尼比与器件振幅的关系;分析了外界冲击对器件性能的影响,利用瞬态动力学分析得到器件X轴可以承受最大加速度为8.842×105 g,Z轴可以承受最大加速度为1.9×106 g。(3)静电驱动微机械陀螺仪的MEMS工艺设计与流片实验。设计了基于SOI硅片的工艺并进行流片;优化了湿法刻蚀释放结构的工艺;分析了器件衬底漏电的机理,并利用计算机软件进行仿真计算;设计了基于硅玻璃键合的工艺并进行流片;优化了玻璃凹槽湿法刻蚀工艺设计与圆片键合工艺。(4)静电驱动微机械谐振器件的测试。分析了主要的几种MEMS谐振器件的测试方法;基于矢量网络分析仪、真空腔、跨阻放大器等设备,对器件进行扫频测试,得到驱动轴的谐振频率为23686.25 Hz,敏感轴的谐振频率为23980 Hz;基于静电调修原理,对器件施加2.5 V静电调修电压,两个模态的频率裂解从293.75 Hz下降到6.25 Hz,提高了器件的性能。

关键词：微机电系统 MEMS陀螺仪静电调修多环结构阳极键合

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电子测量原理与模拟电路实验 1

电子测量原理与模拟电路实验

1993年

作者：华南盾朱杰张林欣

本书为电子类专业模拟电路实验教材，内容共分两篇：第一篇为电子测量原理，介绍测量误差分析、主要电量（电压、频率、相位和时间）测量方法、常用电子仪器工作原理及应用；第二篇为模拟电路实验，共有15个实验，内容有线性与非线性电... 详细信息

ISBN: (纸本)7313012144

本书为电子类专业模拟电路实验教材，内容共分两篇：第一篇为电子测量原理，介绍测量误差分析、主要电量（电压、频率、相位和时间）测量方法、常用电子仪器工作原理及应用；第二篇为模拟电路实验，共有15个实验，内容有线性与非线性电路、低频和高频电路。本书可作电子类本科、大专的模拟电路实验教材和电子测量教材，也可供从事电子电路及设备研制的工程技术人员参考。

关键词：电子测量模拟电路学科:实验

来源：汇雅图书（南通市图书馆... 评论

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论量刑情节的适用

法制与社会 2013年第8期 117-117页

作者：张林欣四川大学法学院

量刑情节是刑法中广泛使用的一个词,在司法实践中,量刑情节也是必须认真对待的一个问题。量刑情节影响着定罪、量刑和行刑等各个环节,也体现了行为人的人身危险性和其行为的社会危害性,有着重要的意义和作用。本文讨论了什么是量刑和什... 详细信息

量刑情节是刑法中广泛使用的一个词,在司法实践中,量刑情节也是必须认真对待的一个问题。量刑情节影响着定罪、量刑和行刑等各个环节,也体现了行为人的人身危险性和其行为的社会危害性,有着重要的意义和作用。本文讨论了什么是量刑和什么是情节,对量刑和情节进行了分别叙述和综合叙述。并在此基础上,具体阐释了法定情节的作用和意义,我国刑法对法定情节的具体规定,法定情节的种类,讨论法定情节的适用。具体阐述了法律对酌定情节的规定,我国法律所规定的酌定情节的种类,讨论酌定情节的适用。

关键词：量刑情节法定情节酌定情节

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初中地理信息化教学模式影响因素探析

教育与装备研究 2023年第1期39卷 17-22页

作者：张林欣石秋香王敏河北科技师范学院教育学院

教师在地理课堂中运用现代信息化技术,引起了课堂教学模式的转变,有效提升地理教学效果。文中通过阐述国内外初中地理信息化教学模式的发展,了解初中地理信息化教学模式的发展状况,探究影响初中地理信息化教学模式的因素,进而提出构建... 详细信息

教师在地理课堂中运用现代信息化技术,引起了课堂教学模式的转变,有效提升地理教学效果。文中通过阐述国内外初中地理信息化教学模式的发展,了解初中地理信息化教学模式的发展状况,探究影响初中地理信息化教学模式的因素,进而提出构建初中地理信息化教学模式的建议,为优化初中地理信息化教学模式、提升地理教学效果提供借鉴。

关键词：初中地理信息化教学模式影响因素

5C核心素养下小学班主任班级管理的优化研究

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现代交际 2021年第19期 79-81页

作者：张林欣王俊杰江苏第二师范学院外国语学院

随着核心素养的提出,越来越多的中小学明确了素质教育的目标。为更好地普及素质教育,培养全面发展的学生,发挥班主任对班集体的引导作用,解决当下小学班主任班级管理中出现的问题,结合5C核心素养,对现有班级管理问题,从增加有效沟通、... 详细信息

随着核心素养的提出,越来越多的中小学明确了素质教育的目标。为更好地普及素质教育,培养全面发展的学生,发挥班主任对班集体的引导作用,解决当下小学班主任班级管理中出现的问题,结合5C核心素养,对现有班级管理问题,从增加有效沟通、激发合作意识和提高文化理解等方面提出了一些可行措施,开拓了小学班主任管理新思路,有利于优化小学班级管理模式。

关键词： 5C模型核心素养小学班主任班级管理

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劳动教育中社会科学方法论的指导价值探析

教育与装备研究 2022年第11期38卷 79-82页

作者：王敏石秋香张林欣河北科技师范学院

马克思主义社会科学方法论是对自然的科学认识、对社会和人类发展的一般规律性认识,更是对人类社会实践经验的正确性总结。劳动教育是我国教育制度中的重要内容,更是我国素质教育的重要构成部分。针对部分学生不想劳动甚至不会劳动的问... 详细信息

马克思主义社会科学方法论是对自然的科学认识、对社会和人类发展的一般规律性认识,更是对人类社会实践经验的正确性总结。劳动教育是我国教育制度中的重要内容,更是我国素质教育的重要构成部分。针对部分学生不想劳动甚至不会劳动的问题,文章从分析马克思主义社会科学方法论中社会主体研究方法、社会系统研究方法以及以实践为基础的研究方法对于劳动教育的价值出发,提出必须坚持学生的主体地位、实行“三位一体”劳动教育模式和多渠道扩大劳动实践的渠道等对策,旨在将理论与实际相结合,推动马克思主义社会科学方法论的进一步中国化以及确保劳动教育的有效落实。

关键词：马克思主义劳动教育社会科学方法论

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基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪

传感器与微系统 2020年第5期39卷 71-73,80页

作者：张林欣王俊铎沈文江中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院安徽合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室江苏苏州215123

设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实... 详细信息

设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实验,得到了器件的幅频响应特性。基于MEMS陀螺仪的工作原理,设计静电调修的方法,实现了器件驱动轴和敏感轴的谐振频率裂解从293.75 Hz缩小到6.25 Hz。

关键词：微机电系统(MEMS)陀螺仪静电调修圆盘结构阳极键合

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重估现代文学发生的“长江路径”

江西社会科学 2024年第4期44卷 87-93页

作者：蒋林欣西华大学文学与新闻传播学院四川成都610039

现代文学的发生有着明显的地域性特征,其中,长江流域是最活跃的文化地理板块。长江流域繁荣的开埠文化使长江文化有着先发优势和聚集效应,从而孕育了中国文学的诸多“现代性”,养育、汇聚了大量的文学新人才,催生了包括读者、媒介、作... 详细信息

现代文学的发生有着明显的地域性特征,其中,长江流域是最活跃的文化地理板块。长江流域繁荣的开埠文化使长江文化有着先发优势和聚集效应,从而孕育了中国文学的诸多“现代性”,养育、汇聚了大量的文学新人才,催生了包括读者、媒介、作者等要素在内的现代文学场域。开埠文化深刻地影响了现代文学中民族主义、启蒙主义、现实主义等主要文学思潮流派的形成与发展。因此,重估现代文学发生的“长江路径”,有助于厘清现代文学精神特质的源流并充分发掘长江流域文化的价值。

关键词：现代文学长江路径开埠文化地理空间

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近水面潜航体的长径比对海表尾迹的时频域影响

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华中科技大学学报（自然科学版） 2024年第4期52卷 8-15页

作者：杨哲超陈科蓝林欣尤云祥上海交通大学海洋工程国家重点实验室上海200240 上海交通大学三亚崖州湾深海科技研究院海南三亚572000

为探究潜艇长径比对海表尾迹特征的影响,构建与实艇尺寸相当且长径比各不相同的主艇体模型,采用计算流体力学(CFD)方法模拟其近水面匀速潜行时产生的兴波尾迹,并对时域空间尾迹信号进行二维快速傅里叶变换(2D-FFT),获取尾迹信号的功率... 详细信息

为探究潜艇长径比对海表尾迹特征的影响,构建与实艇尺寸相当且长径比各不相同的主艇体模型,采用计算流体力学(CFD)方法模拟其近水面匀速潜行时产生的兴波尾迹,并对时域空间尾迹信号进行二维快速傅里叶变换(2D-FFT),获取尾迹信号的功率谱密度(PSD)分布图.同时考虑实际海水密度稳定层化背景,结合分层流内波的模态分析理论,有效分离海表尾迹的内波成分.研究表明:当近水面航行时,分层效应影响较小,产生的尾迹波谱密度值约占海表尾迹波系的1%,而尾迹波系的首、尾横波能否发生有利干扰相较于艇体排水量的差异对自由面兴波尾迹的时域和频域特征影响更大;当首尾兴波均发生有利干扰时,长径比较小的艇型海表尾迹的高频波成分占比相对较小,在排水量增大的同时,仍具有较好的尾迹隐身性能.

关键词：海表尾迹长径比计算流体力学分层效应功率谱密度