阳极氧化工艺对氧化铝纳米孔结构的影响
作者单位：天津大学化工学院应用化学系 天津大学化工学院应用化学系 天津大学化工学院应用化学系 天津大学化工学院应用化学系
会议名称：《第五届全国表面工程学术会议》
会议日期：2004年
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
摘 要：本实验采用高纯度的铝片为阳极,以铂网为阴极,在3wt%-5wt%草酸溶液中,电压在30V-70V,温度控制在17℃-25℃范围内进行恒压阳极氧化制备氧化铝膜。采用“电化学联机测试系统（3.0版）对阳极氧化过程进行数据采集,并采用ESEM观察纳米孔形貌,OLYMPAS PM-10A金相显微镜测量氧化膜厚度。研究了电解电压、电解液浓度、温度等条件对氧化铝多孔膜结构的影响。结果表明:氧化膜形成速度、纳米孔孔径、胞径、孔壁厚度、氧化膜厚度受电解电压影响显著,随着电解液浓度和温度的增大,氧化膜生长速度加快,纳米孔孔径、孔壁厚度等都随之增大,在相同时间内生成的氧化膜厚度增大。