等离子体浸没离子注入在绝缘材料处理中的应用
作者单位：现代焊接生产技术国家重点实验室材料科学与工程学院 哈尔滨工业大学 现代焊接生产技术国家重点实验室材料科学与工程学院 哈尔滨工业大学 Department of Physics & Materials Science City University of Hong Kong Hong Kong Department of Physics & Materials Science City University of Hong Kong Hong Kong
会议名称：《2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议》
会议日期：2004年
学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
关 键 词：绝缘材料 工件表面 等离子体浸没离子注入 等离子体鞘层
摘 要：等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术,利用负偏压工件周围形成的等离子体鞘层进行离子加速、进而获得离子注入。等离子体注入的前提条件是:工件导电。对于绝缘材料的等离子体注入可能存在问题。本文从理论和实际处理的角度论证了绝缘材料等离子体注入的可能性、可操作性,并给出了一些实际例证。