半导体自组织纳米结构的分子束外延生长与量子器件制备
会议名称：《中国真空学会2012学术年会》
会议日期：2012年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金(90921015、61176012) 科技部重大研究计划纳米研究项目(2012CB932701)的支持
摘 要：半导体自组织纳米结构是发展固态量子信息器件最重要的材料体系之一。本文概要地介绍了半导体量子点、纳米线等自组织纳米结构的分子束外延生长、及量子器件研究的最新进展。讨论了低密度InAs/GaAs自组织量子点的分子束外延可控生长方法。重点讨论了基于单