智能控制在改善微电子制造用精密运动系统动态特性中的应用
作者单位：中国电子科技集团公司第45研究所
会议名称：《2003中国电子制造技术论坛暨展会暨第七届SMT、SMD技术研讨会》
会议日期：2003年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0835[工学-软件工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
摘 要：精密运动系统通过满足所有生产、检测、装配和传输过程中不同高精度和高速度的要求,在微电子制造中扮演着关键的角色。不断缩小的线宽、更高的集成密度和更大的硅片尺寸要求更高的精度和速度。精密运动系统在更高的加速度之下变得对其高频共振更加敏感,这在低速应用中也同样地至关重要。本文对用于改善精密运动系统动态特性的智能控制技术及其向微电子制造的潜在扩展进行了综述。在此基础上,提出了使用智能控制技术来抑制不利的系统动态保证系统刚度和公差的要求的方法。