离子束溅射沉积Co膜光学特性尺寸效应的研究
作者单位：中国科学院上海光所光学薄膜中心 深圳大学理学院
会议名称：《TFC’03全国薄膜技术学术研讨会》
会议日期：2003年
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：金属Co膜是软X射线多层膜中金属层薄膜的常用材料。已有实验结果表明,在短波段软X射线多层膜所要求的最优化设计金属层薄膜厚度范围内,至今沿未能发现有沉积方法使某种材料呈现良好的连续薄膜特性。金属膜层的不连续问题是淀积短波段软X射线多层膜反射镜的一个十分关键的问题。为了充分了解常用软X射线多层膜的金属薄膜层材料的特性,本文采用离