多干涉图组合测试中的空间一致性研究

作     者：咸飞 

作者单位：南京理工大学 

学位级别：硕士

导师姓名：王青

授予年度：2009年

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主      题：干涉测量 空间一致性 非球面 绝对检验 

摘      要：在近代光干涉测量技术中,对于干涉图的识别方法是其与传统的光干涉测量技术的本质的区别。数字球面干涉仪基于移相干涉技术,自动采集数字干涉图,并通过波面求解算法准确计算出其中所包含的波面信息。进行绝对检验时,需要对多个对象进行测试,并对波面做点对点的运算。因此,保障各个测试对象之间相对位置的准确则成了一个控制误差的关键因素。空间一致性理论基于对数字干涉图的识别,提取空间位置特征参数及分析一致性精度,达到辅助调整的目的,从而实现高精度的测量。 本文研究多干涉图组合测试中的空间一致性。文中首先介绍了数字球面干涉仪的基本结构、工作原理和移相干涉技术的原理。然后介绍了空间一致性的概念,并分析了在多对象干涉测试中的空间一致性要求。接着针对数字球面干涉仪的硬件和非球面绝对检验的测试过程编写了多波前测试流程控制窗口及核心函数。最后介绍了非球面绝对检验的基本原理、测试步骤、误差分离,并使用非球面绝对检验软件包的辅助调整功能进行了实验,收到了较好的效果。