紫外固化型聚合物阵列波导光栅（AWG）器件的研制
作者单位：吉林大学
学位级别：硕士
导师姓名：张大明
授予年度：2007年
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学]
摘 要：本论文简要介绍了光纤通信技术和波分复用技术的发展,对聚合物AWG器件的研究进展做了概括介绍,详细讨论了聚合物AWG波分复用器的工作原理,利用计算机软件对已有版图设计参数进行仿真模拟分析,并介绍了AWG器件在波分复用系统中的主要应用。为了进一步优化AWG器件的性能参数,简化制备工艺,本论文我们引入紫外固化材料SU-8形成光波导,制备了SiO为衬底的聚合物AWG器件、Si基聚合物AWG器件,并对材料性质及表征、波导形貌特性、工艺制作、波导传输损耗、器件性能测试、芯片端面抛光、光场传播仿真模拟等进行了细致研究。由于这种技术具有简单、快速、可控的优点,使利用紫外固化型有机聚合物材料制备光波导的技术成为提升器件成品率及未来产品的性能价格比,增强市场竞争力的关键所在。
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