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高温高压固态复分解反应法生长氮化镓的应变性质研究

A Study of Strain States of Gallium Nitride Prepared Through Solid-State Metathesis Reaction Under High Pressure and High Temperature.

作     者:马瑶 龚敏 马欢 贺端威 MA Yao;GONG Min;MA Huan;HE Duan-wei

作者机构:四川大学物理科学与技术学院微电子技术四川省重点实验室成都610064 四川大学原子与分子物理研究所成都610065 

出 版 物:《光散射学报》 (The Journal of Light Scattering)

年 卷 期:2011年第23卷第2期

页      面:133-137页

学科分类:07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

主  题:氮化镓 X射线衍射 拉曼光谱 应变 应力 退火 

摘      要:本文采用高温高压下固态复分解反应法生长氮化镓。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪对其进行分析,结果表明生成了六角纤锌矿结构的氮化镓晶体。该样品在宏观上受到了张应力的作用,退火后,宏观的应变状态由张应变向压应变转变;晶体微观应力减小,晶粒尺寸变大,晶体质量变好。

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