基于激光干涉的三自由度测量系统的理论分析
Theoretical analysis of measurement system of three degrees of freedom based on laser interferometer作者机构：湖北工业大学机械工程学院湖北武汉430068 湖北工业大学湖北省现代制造质量工程重点实验室湖北武汉430068
出 版 物：《武汉大学学报（工学版）》 (Engineering Journal of Wuhan University)
年 卷 期：2016年第49卷第1期
页 面：132-136页
学科分类：0711[理学-系统科学] 07[理学] 08[工学] 081104[工学-模式识别与智能系统] 0811[工学-控制科学与工程] 071102[理学-系统分析与集成] 081103[工学-系统工程]
摘 要：为了克服激光沿原光路返回产生激光回馈效应的影响,提出了一种以组合三反射镜为目标载体的三自由度测量方法,即三平面镜组合方法.它不同于平面镜或角隅棱镜作为目标镜的方法,既能使反射光线与原光线错开一定距离,保证反射光不会沿原光路返回,又能使反射光线保留目标测量对象的偏转信息.在实际测量过程中,一方面由于测量位移范围较小,测量光束与参考光束在测量过程中错开很小,不会影响干涉条纹的产生.另一方面考虑工作台偏转角度一般很小,对干涉条纹形状的影响不会造成对干涉条纹计数的破坏.实验应用结果表明,该方法适用于运动位移与偏转角度的三自由度同步测量.
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