多晶硅的冷氢化工艺

作     者：宋佳 曹祖宾 韩冬云 李会鹏 石薇薇 李大为 SONG Jia;CAO Zu-bin;HAN Dong-yun;LI Hui-peng;SHI Wei-wei;LI Da-wei

作者机构：辽宁石油化工大学材料与化学学院辽宁抚顺113001 辽宁石油化工大学石油化工学院辽宁抚顺113001 

出 版 物：《化学与粘合》 (Chemistry and Adhesion)

年 卷 期：2011年第33卷第6期

页      面：76-79页

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

主　　题：多晶硅 冷氢化 闭合生产线 

摘      要：对多晶硅的冷氢化闭合生产线进行了探讨,总结出一条低能耗、高产量的闭合循环生产线。主要包括如下几道工序:冷氢化,精馏,还原,还原尾气回收,歧化等。冷氢化工序进行冷氢化反应,主要包括固定床反应器、沉降器以及气提塔等设备。来自于气提塔的氯硅烷液体通过四级精馏塔进行分离,最后得到精制三氯氢硅。精制三氯氢硅进入还原系统生产多晶硅。还原工序尾气经过两级精馏塔进行分离。回收的二氯二氢硅与四氯化硅经过提纯后进入歧化系统,反应制得三氯氢硅。如此几套工序循环进行可以实现多晶硅的闭环生产,做到系统内部的氯化氢、氯硅烷等系统消化,对环境的污染降到最低。