功能梯度类金刚石薄膜的脉冲激光制备

作     者：魏秋明 J.Sankar J.Narayan Wei Qiuming;J.Sankar;J.Narayan

作者机构：NSF Center for Advanced Materials and Smart Structures Department of Materials Science and Engineering 

出 版 物：《金属热处理学报》 (TRANSACTIONS OF METAL HEAT TREATMENT)

年 卷 期：2000年第21卷第2期

页      面：57-63页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：美国国家科学基金!通过NSF CAMSS资助 

主　　题：类金刚石薄膜 功能梯度设计 准分子脉冲激光沉积 

摘      要：长期以来 ,高质量的纯类金刚石薄膜的成功制备一直受其巨大内部压应力的阻碍 ,因为这种压应力导致严重的附着问题。厚度大于 50 0nm的类金刚石薄膜中的压应力常使薄膜与基体剥离。作者采用功能梯度的设计概念 ,应用准分子脉冲激光沉积方法 ,成功制备了厚度超过 1 0 μm的高质量类金刚石薄膜。薄膜中的SP3碳原子含量超过 6 0 %。纳米硬度测试表明 ,薄膜的弹性模量高达 50 0GPa ,纳米硬度高达 6 0GPa ,薄膜与基体间附着良好。证明功能梯度的设计概念可以用于制备较厚的超硬类金刚石薄膜。