SiGe HBTs高频特性模拟分析
作者机构:北京工业大学电子工程系
出 版 物:《Journal of Semiconductors》 (半导体学报(英文版))
年 卷 期:1999年第20卷第6期
页 面:468-475页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学]
摘 要:本文详细分析了下述问题:(1)在基区厚度减薄到几十纳米后,发射区时间常数、集电区时间常数对SiGeHBTs的高频特性的影响;(2)低掺杂浓度发射区层对发射区渡越时间的影响;(3)在发射结耗尽层中,除了固定电荷因素引起的电容外,发射结正常工作加正向偏压时,由于自由载流子注入引起的EB结电容.由以上物理分析可以得出器件的有关参数,并由器件的等效电路,对器件的高频特性进行分析和模拟,对影响器件高频特性的参数进行优化.