环氧树脂基柔性MIM电容的制备与性能研究
Preparation and Properties of Epoxy-Based Flexible MIM Capacitors作者机构：河南省工业学校河南郑州450011
出 版 物：《塑料科技》 (Plastics Science and Technology)
年 卷 期：2020年第48卷第1期
页 面：101-104页
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：柔性衬底因其独特的挠曲性和延展性,能够代替传统的刚性材料来制备柔性高密度MIM电容。利用原子层沉积技术,以SU-8紫外固化的环氧树脂为衬底,制备了柔性Ta2O5 MIM电容,并对制备的器件进行了电学性能的表征。结果表明:电容器件获得了较高的电容密度,为5.1 fF/μm^2。与Si基制备的Ta2O5 MIM电容相比,环氧树脂基能够获得较低的漏电流密度和较小的电容电压系数,漏电流密度4.5×10^-6 A/cm^2,电容电压系数为975×10^-6/V^2。
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