扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现
Design and Realization of Electrical Safety and Diagnosis System for Scanner Lithography作者机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司
出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)
年 卷 期：2020年第49卷第1期
页 面：15-19,49页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
主 题：光刻机 安全与诊断 以太网控制自动化技术 用于过程控制的对象连接和嵌入
摘 要：针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统。该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENESIS64组态监控软件、EtherCAT现场总线与OPC标准协议,实现了光刻机在整机控制层面上的电气安全设计以及实时诊断,为光刻机的安全运行提供了智能决策与可靠保障。
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