石英器件加工工艺及最新进展
Machining Technologies for Quartz Devices and Its New Development
作 者:周岩 刘晓胜 杨乐民 郑胜军 张广玉 ZHOU Yan;LIU Xiaosheng;YANG Lemin;ZHENG Shengjun;ZHANG Guangyu
作者机构:哈尔滨工业大学机电学院 东南大学无线电系
出 版 物:《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)
年 卷 期:2000年第11卷第6期
页 面:668-671页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题:石英器件 磨料喷射 超声落料 石英摆片 化学蚀刻
摘 要:介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 。
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