金刚石薄膜交叉学科研究取得新突破
出 版 物:《磨料磨具通讯》
年 卷 期:2008年第3期
页 面:16-16页
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学]
主 题:金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积 科研 生物医用高分子材料 等离子体技术 等离子体装置 科技进步二等奖 技术负责人
摘 要:近年来,武汉工程大学一直致力于学科的交叉与融合,学校在新材料的研发方面成绩卓著,在等离子体技术与新材料和生物医用高分子材料方面取得了突破性进展。副校长汪建华教授作为技术负责人主持的谐振腔型微波等离子体化学气相沉积金刚石膜技术研究2002年获省科技进步二等奖,承担了国家计委的“特种材料金刚石薄膜装置制造及产品产业化项目,主持了省科技厅重大攻关项目“工业化金刚石薄膜刀具的工艺研究,在这些项目的实施过程中,先后解决了大功率微波等离子体装置的设计、制造和稳定运行中的关键技术难题,使得我国微波等离子体装置的研制水平达到国际先进水平,其系列等离子体科研、教学设备为企业新增年产值4000余万元,意义十分重大。