二维方框形结构PSD有限元分析

作     者：黄梅珍 黄锦荣 窦晓鸣 陈钰清 Huang Meizhen;Huang Jinrong;Dou Xiaoming;Chen Yuqing

作者机构：上海交通大学物理系光学工程研究所上海200240 福建海鹏经贸有限公司福州350002 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心杭州310027 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2005年第26卷第4期

页      面：382-385页

核心收录：

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0802[工学-机械工程] 

主　　题：PSD 有限元分析 方框 二维 位置敏感探测器 有限元方法 结构参数 单位长度 方块电阻 取值范围 位置误差 负载电阻 线性度 线电阻 光敏区 换算式 器件 

摘      要：用有限元方法对二维方框形结构位置敏感探测器(position sensitive detector简称PSD)进行了计算和分析,讨论了结构参数、负载等对位置线性度的影响。得到的结论是:光敏区方块电阻与单位长度边框线电阻的比值ν决定了PSD的线性度,ν越大,器件的线性越好,比较适当的取值范围是1 0 ν2 0 ,PSD位置换算式中系数k的最佳取值不一定为器件长度之半,负载电阻的存在将导致附加位置误差。