一种适用于扫描探针显微镜的符合扫描模式
A newly developed coincidence scanning mode appropriate to SPM作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072
出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)
年 卷 期：1999年第20卷第3期
页 面：195-197页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学]
基 金：天津市重点基金
主 题：扫描隧道显微镜 原子力显微镜 扫描探针显微镜 扫描模式 “符合扫描”
摘 要：扫描模式问题是长期困扰包括扫描隧道显微镜（ Ｓ Ｔ Ｍ） ，原子力显微镜（ Ａ Ｆ Ｍ） 在内的扫描探针显微镜（ Ｓ Ｐ Ｍ） 测量精度和速度的关键问题。理论与实验均表明：“符合扫描消除了原有扫描模式带来的测量误差。这种模式还使测量速度提高了约７０ ％ ，不仅可以使现在的观察型 Ｓ Ｔ Ｍ 的性能得到提高，而更重要的是对 Ｓ Ｐ Ｍ 从观察型向计量型的转变在扫描模式方面提供了保障。
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