开关电容式闭环微加速度计的稳定性研究
Stability Analysis of Switched-capacitor Closed-loop Micro-accelerometers作者机构：中国科学院电子学研究所北京100190 中国科学院研究生院北京100049
出 版 物：《电子与信息学报》 (Journal of Electronics & Information Technology)
年 卷 期：2012年第34卷第9期
页 面：2254-2258页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：该文对开关电容式闭环微加速度计的系统稳定性进行了深入研究。提出了可通用于该类微传感系统的动态特性分析方法,并具体研究了传感器品质因子、力反馈延迟、电路补偿单元的参数多种因素对系统稳定性的影响。基于0.35 mm CMOS工艺实现了一款接口电路芯片实例,实验结果表明,充分的电路补偿设计对于保证系统稳定性十分关键,实际的系统稳定边界与理论分析结果也较为吻合,从而证明了理论分析方法的正确性。
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