MOCVD法ZnS∶Mn电致发光薄膜的结晶与光学特性
作者机构:中国科学院长春物理研究所
出 版 物:《稀有金属》 (Chinese Journal of Rare Metals)
年 卷 期:1996年第20卷第5期
页 面:326-329页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学]
基 金:国家自然科学基金 中国科学院激发态物理开放实验室基金
摘 要:用X射线衍射仪研究了MOCVD法制备的ZnS∶Mn薄膜的结晶特性,用二次离子质谱仪分析了锰在立方晶相硫化锌中的分布,解释了薄膜两侧原子堆积层的成因,测量了ZnS∶Mn电致发光薄膜的光学特性。