化学溶液法制备涂层导体过渡层La_2Zr_2O_7厚膜的研究

作     者：王榕 索红莉 程艳玲 刘敏 赵跃 叶帅 高忙忙 周美玲 WANG Rong;SUO Hong-li;CHENG Yan-ling;LIU Min;ZHAO Yue;YE Shuai;GAO Mang-mang;ZHOU Mei-ling

作者机构：北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室北京100022 北京工业大学数理学院北京100022 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2010年第39卷第2期

页      面：396-400页

核心收录：

学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 0817[工学-化学工程与技术] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家973计划(2006CB601005) 国家863项目基金(2009AA032401) 国家自然科学基金(No.50771003 50802004) 北京市自然科学基金(No.2092006) 

主　　题：涂层导体 CSD方法 LZO过渡层 种子层 

摘      要：为制备高质量的双轴织构La2Zr2O7(LZO)涂层导体过渡层,本文采用化学溶液法(Chemical solutiondeposition,简称CSD法),以乙酰丙酮镧和乙酰丙酮锆为溶质,丙酸为溶剂配制成前驱盐溶液,在立方织构的Ni-5at%W基底上用快速一步法退火工艺制备了LZO种子层及双层LZO厚膜。SEM观察种子层呈岛状均匀排列,符合种子层形貌特点。XRD结果显示0.06 mol/L浓度种子层上制备的LZO厚膜具有很强的双轴立方织构,其中(222)面Phi扫描和(400)面摇摆曲线半高宽值分别为6.37°和5.82°。SEM观察发现120 nm厚的LZO薄膜表面平整,无裂纹,为后续沉积YBCO提供了很好的模板。