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宽温区MOSFET反型层载流子迁移率的模型和测定方法

The Model and Measurement Method of Inversion Layer Carrier Mobility of MOSFET in the Wide Temperature Range

作     者:冯耀兰 宋安飞 张海鹏 樊路加 

作者机构:东南大学微电子中心南京210096 

出 版 物:《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期:2001年第21卷第4期

页      面:448-452页

核心收录:

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

基  金:国家自然科学基金重点项目 (批准号 :6 9736 0 2 0 ) 

主  题:宽温区 金属-氧化物-半导体场效应晶体管 载流子迁移率 

摘      要:首先介绍了宽温区 (2 7~ 30 0°C) MOSFET的阈值电压、泄漏电流和漏源电流的特点以及载流子迁移率的高温模型 ;进而给出了室温下 MOSFET反型层载流子迁移率的测定方法 ,最后提出了利用线性区 I- V特性方程测定宽温区 MOSFET反型层载流子迁移率的方法 。

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