世界领先的韩国制造商订购多套SEZ DA VINCI系列设备
出 版 物：《电子与电脑》 (Compotech)
年 卷 期：2005年第5卷第4期
页 面：150-150页
学科分类：12[管理学] 0832[工学-食品科学与工程（可授工学、农学学位）] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 08[工学] 083203[工学-农产品加工及贮藏工程]
主 题：制造商 系列设备 订购 世界 韩国 DA SEZ集团 300mm 技术领域 设备市场 清洗设备 工艺技术 存储器件 湿处理 单晶片 供应商 半导体 聚合物 公司 股市
摘 要：近日，半导体设备市场的领先供应商及单晶片湿处理技术领域的首要创新者SEZ集团（SWX股市代码：SEZN）公司宣布，一家世界领先存储器制造商已向其订购多套Da Vinci系列清洗设备。这些DV-38F设备将用于以亚90nm工艺技术、在300mm晶片上制造存储器件的后段制程（BEOL）中清除聚合物。
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