双敏薄膜气体传感器的研究
THIN-FILM SENSOR FOR TWO KINDS OF GASES出 版 物：《江西工业大学学报》 (Journal of Nanchang University(Engineering & Technology))
年 卷 期：1992年第14卷第2期
页 面：51-55页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：我们用PECVD技术制备了一种既对NO_2气体敏感又对C_2H_5OH气体敏感的多层结构薄膜,用这种薄膜制作的旁热式气体传感器,通过改变热丝电压,不仅可以检测出NO_2气体,又可以检测出C_2H_5OH气体,而且不受常见气体的干扰,这是一个双敏薄膜气体传惑器。
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