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镶嵌结构界面金刚石涂层研究进展

Latest Progress in Synthetic Inlay Structured Diamond Coatings

作     者:邱万奇 陈星婷 刘仲武 钟喜春 余红雅 曾德长 Qiu Wanqi;Chen Xingting;Liu Zhongwu;Zhong Xichun;Yu Hongya;Zeng Dechang

作者机构:华南理工大学材料科学与工程学院广州510640 

出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期:2011年第31卷第6期

页      面:691-695页

核心收录:

学科分类:08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(51071070) 

主  题:金刚石 镶嵌 化学气相沉积 结合力 研究进展 

摘      要:对平面结构和镶嵌结构界面金刚石涂层的界面结构特点、受弯曲应力应变时的失效方式进行了分析,指出镶嵌结构界面金刚石涂层是提高膜/基体结合力的有效方法;综述了镶嵌结构界面金刚石涂层的国内外研究现状,并指出了今后镶嵌结构界面金刚石涂层的发展方向。

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