用于真空度测量的脉冲磁控放电研究
Research on Pulsed Magnetron Discharges for Vacuum Measurement作者机构：华中理工大学
出 版 物：《电工技术学报》 (Transactions of China Electrotechnical Society)
年 卷 期：1996年第11卷第1期
页 面：60-63页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：本文详细讨论了同轴场式脉冲磁控放电真空度测量的有关问题，包括磁控真空计工作过程中的放电行为、产生稳定的磁控放电所必须满足的着火条件、以及稳定放电时离子电流与压强的函数关系。分析表明，当磁场强度大于某一临界值时，磁控放电的离子电流与磁场强度无关；离子电流是压强的幂函数，且与所测真空器件电极的表面状况和几何结构有关。最后本文绘出了若干真空灭弧室真空度的测量实例。
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