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1992年

作者：唐政清

本书阐明了各种真空计(微压敏感器件)的作用原理、结构设计、运用特性及液柱真空计、薄膜电容真空计、热传导真空计等的压强测量。

ISBN: (数字)7800344231

ISBN: (纸本)7800344231

本书阐明了各种真空计(微压敏感器件)的作用原理、结构设计、运用特性及液柱真空计、薄膜电容真空计、热传导真空计等的压强测量。

关键词：真空测量

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真空测量

真空 1978年第1期 59-66页

作者：及川永

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真空测量

真空电子技术 1982年第4期 53-54+48页

作者：龙志翘一四一二所

真空测量通常是指稀薄气体全压的测量。用于测量真空度的仪器称为真空规或真空计。真空测量的主要特点有:量程宽(10~2—10-15托);测量的精度和准确度相对低;由于直接测量气体压强效应有困难,常要根据稀薄气体的某些特性,通过测量有关的... 详细信息

真空测量通常是指稀薄气体全压的测量。用于测量真空度的仪器称为真空规或真空计。真空测量的主要特点有:量程宽(10~2—10-15托);测量的精度和准确度相对低;由于直接测量气体压强效应有困难,常要根据稀薄气体的某些特性,通过测量有关的物理量来间接确定气体的压强,因而许多真空规测的结果与气体成分有关。真空规种类繁多,各有特点和使

关键词：真空测量真空规真空计

基于Fabry-Perot腔的光学真空测量技术研究

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东北大学学报（自然科学版） 2023年第7期44卷 989-995页

作者：范栋李得天习振华刘坤东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110819 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000

基于从头计算理论,对氩气摩尔极化率、摩尔磁化率和维里系数等物理参数进行计算,结合维里状态方程和Lorentz-Lorenz方程建立了气体压力关于折射率的理论参数模型.利用基于Fabry-Perot腔的光学真空测量装置,通过精确测量Fabry-Perot腔内... 详细信息

基于从头计算理论,对氩气摩尔极化率、摩尔磁化率和维里系数等物理参数进行计算,结合维里状态方程和Lorentz-Lorenz方程建立了气体压力关于折射率的理论参数模型.利用基于Fabry-Perot腔的光学真空测量装置,通过精确测量Fabry-Perot腔内激光的谐振频率变化,获得气体折射率和气体压力,在10^(5) Pa时,折射率相对测量不确定度为1.8×10^(-11),气体压力相对不确定度为4.4×10^(-6).对比分析基于Fabry-Perot腔的光学真空测量装置与电容薄膜真空计获得的测量压力,结果表明基于Fabry-Perot腔的光学真空测量方法具有较高的稳定性和准确性.

关键词：真空测量量子化 Fabry-Perot腔气体折射率不确定度

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超高／极高真空测量发展综述

真空科学与技术学报 2009年第5期29卷 522-530页

作者：李得天成永军冯焱卢耀文赵澜徐婕兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室兰州730000

本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超... 详细信息

本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解。

关键词：真空测量电离规 X射线效应电子激励脱附场致发射激光电离

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真空测量与控制

2008年

作者：朱武干蜀毅

本书系统地介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法，介绍的主要内容有真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原... 详细信息

ISBN: (纸本)781093743X

本书系统地介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法，介绍的主要内容有真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其他检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。本书可作为高等学校真空技术及设备、材料科学与工程、物理学等相关专业本科生和研究生的教材，还可供从事真空获得、真空测量和真空应用的工程技术人员参考。

关键词：真空测量测量技术

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基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究

仪器仪表学报 2001年第4期22卷 380-383页

作者：张昱金心宇陈抗生王跃林浙江大学信息学院杭州310027 上海冶金研究所传感技术国家重点实验室上海200050

本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成... 详细信息

本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ～ 10 - 1 Pa,具有可靠性高。

关键词：硅微机械谐振传感器单片机闭环测控真空测量

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BEPCⅡ束流引入的真空测量误差

真空科学与技术学报 2010年第1期30卷 88-91页

作者：肖琼彭晓华中国科学院高能物理研究所北京100049

当BEPCⅡ储存环的束流突然丢失时,真空计和离子泵的压力测量值都先有一个瞬时的减小,之后才逐渐降低到本底压力。这表明束流运行时压力测量值中存在着束流引入的正误差,误差量正是测量值减去实际值之差。丢束之后束流引入的误差立即消失... 详细信息

当BEPCⅡ储存环的束流突然丢失时,真空计和离子泵的压力测量值都先有一个瞬时的减小,之后才逐渐降低到本底压力。这表明束流运行时压力测量值中存在着束流引入的正误差,误差量正是测量值减去实际值之差。丢束之后束流引入的误差立即消失,真空计测量值反映的是实际压力。对于某个真空计,利用突然丢束后压力测量值随时间变化的数据进行非线性拟合,得到一条负指数衰减的抽空曲线,根据它外推可以得到丢束时刻的实际压力。对于若干次突然丢束,用这种方法观察丢束流强不同时该真空计误差量的变化,发现误差量与流强基本呈正比例关系。通过直线拟合求得比例系数,也就得到了在任意流强下根据该真空计压力测量值来计算实际压力的公式。

关键词： BEPCⅡ 真空测量非线性拟合测量误差负指数衰减

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真空测量与检漏

丛书名：高等学校教学用书

1992年

作者：东北工学院刘玉岱

本书中着重于基本理论、基本知识和基本技能的阐述。通过本课程的学习，使学生掌握全压力和分压力测量，真空计校准以及检漏技术等理论知识和技能。

ISBN: (纸本)7502410708

关键词：真空测量学科:高等学校学科:教材真空检漏

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真空测量与仪表

真空测量与仪表

1981年

作者：孙企达陈建中

本书内容包括真空测量技术的基本概念和基本知识；粗、低、高、超高和极高真空的测量方法与仪表，各类真空仪表的结构、工作原理、性能、校准和使用维修知识等。

ISBN: (纸本)15033·4938

关键词：真空测量测量仪表