PCVD法在模具钢表面沉积Ti(CN)涂层的研究
Ti(CN) Layer Deposited on Tool Steel by PCVD Technique作者机构：武汉科技大学材料与冶金学院湖北武汉430081
出 版 物：《金属热处理》 (Heat Treatment of Metals)
年 卷 期：2003年第28卷第8期
页 面：7-9页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
主 题：等离子体化学气相沉积 Ti(CN)涂层 工模具钢
摘 要：应用PCVD技术 ,以金属有机物钛酸丙酯 (TPT)代替TiCl4作钛源 ,在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层 ,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响。试验结果表明 ,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量 ,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层 ,显著提高模具的表面硬度和使用寿命。
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