压电谐振式微悬臂梁气体传感器
Piezoelectric Resonance Microcantilever GAS Sensor作者机构：复旦大学微电子学系国家专用集成电路与系统实验室上海200433 华东理工大学石油化工学院机械系上海201512 复旦大学化学系上海200433
出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：2003年第25卷第5期
页 面：358-362页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 1002[医学-临床医学] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
摘 要：介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理,及其在空气质量检测上的应用。实验结果验证了设计方法正确,制作工艺可行。在特定敏感层的作用下,该传感器对氟利昂气体在500×10^(-6)范围内的响应呈指数衰减,在100×10^(-6)范围内呈线性响应,灵敏度达-0.002 4％×10~6,最小可测质量为3.5×10^(-9)g。
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