Al0.7Sb2Te3三元靶材的结构性能表征

作     者：孙川希 周增林 谢元锋 夏扬 Sun Chuanxi;Zhou Zenglin;Xie Yuanfeng;Xia Yang

作者机构：有研工程技术研究院有限公司北京101407 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2019年第48卷第7期

页      面：2203-2207页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家重点研发计划专项项目(2017YFB0306000) 

主　　题：Al0.7Sb2Te3 XPS 化学价态 有效化合 

摘      要：以原子比Al:Sb:Te=0.7:2:3的混和粉为原料,采用真空合成法与烧结-热等静压制备Al0.7Sb2Te3三元靶材,通过XRD、FESEM、EDS、XPS等手段表征其性能,且重点采用XPS研究Al在Al0.7Sb2Te3三元靶材的存在状态。结果表明:Al掺杂后,靶材主相Sb2Te3的晶格常数变化,且单质Al弥散相与Al0.1Sb2Te3基体相共存,表明掺杂对靶材的组织结构确有影响;刻蚀深度从0 nm增加至405.9 nm,Al价态从以Al2O3的化合态为主逐渐过渡至以单质态为主,且Al以Al2O3形态为主的区域深度约90 nm;刻蚀深度为405.9 nm的XPS分析表明,Al0.1Sb2Te3中的Al通过有效化合形成AlSb影响着靶材的组织结构。