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Y60A单晶炉的热场设计及测试

Designing and Testing the Heat Field of Y60A Crystal Growing Furnace

作     者：梁秀梅 张冰毅 

作者机构：西安理工大学陕西西安710048 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2001年第30卷第2期

页      面：21-26页

学科分类：080603[工学-有色金属冶金] 08[工学] 0806[工学-冶金工程] 

主　　题：热场设计 三温区 控温精度 炉温均匀度 晶体炉 Y60A型 测试 晶体生长 

摘      要：结合LBO、BBO等氧化物晶体生长的工艺条件 ,在一台包含三温区的晶体生长炉中进行热场控制的实验研究 ,实验结果表明该炉室恒温区内控温精度≤± 0 2℃ ;炉温均匀度≤± 1℃。

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