压电／电致伸缩微位移器件与应用（上）
作者机构：哈尔滨工业大学机器人研究所
出 版 物：《高技术通讯》 (Chinese High Technology Letters)
年 卷 期：1994年第4卷第5期
页 面：38-40页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：介绍了国内外几种压电／电致伸缩微位移器件，并着重介绍了压电／电致伸缩微位移器在精密机械、大规模集成电路设备、生物工程、机器人等方面的超精密定位技术上的应用和发展前景。
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