喷墨打印金属氧化物异质结晶体管

作     者：杨文宇 张国成 崔宇 陈惠鹏 YANG Wen-yu;ZHANG Guo-cheng;CUI Yu;CHEN Hui-peng

作者机构：福州大学平板显示技术国家地方联合工程实验室福建福州350118 福建工程学院微电子技术研究中心福建福州350118 长春工程技术学院吉林长春130012 

出 版 物：《发光学报》 (Chinese Journal of Luminescence)

年 卷 期：2019年第40卷第4期

页      面：497-503页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家重点研发计划(2016YFB0401103) 福建省自然科学基金(2016J01749)资助项目 

主　　题：金属氧化物半导体 喷墨打印 异质结 二维电子气 

摘      要：通过用喷墨打印制备的ZnO/IGZO异质结代替单层半导体沟道克服了氧化物缺陷导致的电子传输限制。ZnO/IGZO异质结晶体管表现出带状电子传输,迁移率比单层IGZO或ZnOTFT分别增大了约9倍和19倍,达到6.42cm^2/(V·s)。开关比分别增大了2个和4个数量级,达到1.8×10^8。性能的显著改善源自于IGZO和ZnO异质界面间由于导带的大偏移量而形成的二维电子气。