氧气氛低温退火Pt/Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3Pt引起的低频介电弛豫效应
The low-frequency dielectric relaxation in Pt/Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3/Pt thin film capacitors post annealed at low temperatures in oxygen ambient作者机构：苏州大学物理系苏州215006
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2002年第51卷第12期
页 面：2896-2900页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0704[理学-天文学]
基 金：江苏省青年科技基金 (批准号 :BQ980 3 7)资助的课题~~
主 题：氧气氛 低温退火 Pt/Ba0.8Sr0.2TiO3/Pt 低频介电弛豫效应 脉冲激光沉积 动态随机存储器 钛酸锶钡薄膜 铂
摘 要：研究了在不同温度区间氧气氛和氮气氛退火后处理对Pt Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 Pt介电特性的影响 .经过高温 5 5 0℃氮气退火处理后 ,再放入 35 0℃的氧气中退火 ,发现样品的介电特性出现了非常明显的低频弛豫现象 ,并且这种低频弛豫现象在 35 0℃的氮气中退火后将会消失 .通过在出现低频弛豫现象的样品的上下电极加一偏压 ,可以发现低频弛豫现象更加明显 ,并且在撤消偏压后这种增强将会逐渐减弱 。
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