数字气压传感器的一种高效标定和补偿方法
A high efficient method for calibration and compensation of digital air pressure sensor作者机构:中国科学院电子学研究所传感器技术联合国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100080 解放军理工大学气象海洋学院探测与装备工程教研中心江苏南京210007
出 版 物:《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)
年 卷 期:2014年第33卷第11期
页 面:44-47页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0802[工学-机械工程]
基 金:国家"863"计划资助项目(2012AA040504) 国家自然科学青年基金资助项目(51305423)
摘 要:硅压阻式压力传感器受制造工艺和测量环境的影响,其输出大都具有一定的非线性,其中以温度的影响最为明显。鉴于此,传感器需要准确地标定测试和温度补偿,首先制作一种带有高精度AD和微处理器的数字气压传感器,用它采集数据;然后分析测试设备,确定采用恒压变温的标定方案,它不仅效率高,而且能准确反映传感器的温度和输出特性;最后用最小二乘算法在微处理器上实现温度补偿,补偿后传感器的输出精度满足了应用需求。