微电子机械系统中转速测量的光学方法

作     者：姜益军 董海凤 何小元 JIANG Yi-jun, DONG Hai-feng, HE Xiao-yuan (Department of Engineering Mechanics, Southeast University, Nanjing 210096)

作者机构：东南大学工程力学系南京210096 

出 版 物：《实验力学》 (Journal of Experimental Mechanics)

年 卷 期：2004年第19卷第1期

页      面：109-112页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 080102[工学-固体力学] 

基　　金：国家"863"计划资助项目(2002AA404141) 国家自然科学基金资助项目(10072017) 

主　　题：微电子机械系统 转速测量 灰度积分 CCD图像传感器 时间积分图像 曝光时间 

摘      要：利用显微测量技术和CCD图像传感器的线性积分成像特性,将数字图像处理技术与时间积分成像技术用于微电子机械系统(MEMS)中的转速测量。只需分别摄取被测物体上的标志点在静止状态下的时间积分图像和运动状态下的时间积分图像,即可测得物体在该段曝光时间内的转速。该方法对实验设备及实验条件要求较宽松。实验表明该方法对微系统中近似匀速转动时转速的测量是完全可行的,且具有较高的精度。