复合绒面透明导电薄膜研究

作     者：朱锋 周祯华 熊绍珍 吴春亚 李洪波 麦耀华 薛俊明 耿新华 Zhu Feng,Zhou Zhenhua,Xiong Shaozhen,Wu Chunya,Li Hongbo, Mai Yaohua,Xue Junming,Geng Xinhua (Institute of Photo electronics,NanKai University,Tianjin 300071,China)

作者机构：南开大学光电子所天津300071 

出 版 物：《太阳能学报》 (Acta Energiae Solaris Sinica)

年 卷 期：2003年第24卷第3期

页      面：344-347页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家科技部重大基础研究项目 (G2 0 0 0 0 2 82 0 3 G2 0 0 0 0 2 82 0 2 ) 

主　　题：SnO2 复合绒面膜 直流反应磁控溅射 透明导电薄膜 非晶硅电池 

摘      要：在常规非晶硅电池绒面SnO2 衬底上 ,采用Zn∶Al重量比为 5 %的金属靶直流反应磁控溅射沉积ZnO ,构成复合绒面SnO2 /ZnO透明导电膜。控制适当ZnO厚度 ,既能保持SnO2 绒面效果 ,又可阻挡H离子对SnO2 的还原作用 ,可作为微晶硅电池的前电极。文中对ZnO沉积条件以及复合膜的形貌、电光性能进行了讨论。