变截面矩形槽牵引分子泵二维抽气理论的研究
MDP'S Pumping Theory of Varied Rectangle Channel at Two-dimensional Space作者机构：东北工学院 中科院北京真空物理实验室沈阳市110014
出 版 物：《真空》 (Vacuum)
年 卷 期：1992年第29卷第4期
页 面：1-7页
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：本文对牵引分子泵抽气机理进行了深入分析，考虑了通道返流和工作间隙泄漏对泵抽气性能的影响。采用有限差分法对通道内气体分子宏观运动速度分布进行了计算，提 出了牵引分子泵二维抽气理论。
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