基于电流变效应的超精密工件台研究与展望
Research and Prospect on Ultra Precision Table System Equipped with Electrorheological Fluid Units作者机构：清华大学精仪系制造所北京100084
出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)
年 卷 期：2005年第30卷第3期
页 面：11-12,17页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：通过分析超精密工件台系统的研究现状和存在问题及电流变液ERF 的机理和应用现状,提出“基于ERF 半主动阻尼的直线电机驱动- 气浮/ 磁浮导轨纳米级超精密工件台系统。介绍了国内外相关研究,分析了此工件台系统具有的特性及尚待解决的问题。
维普期刊数据库
同方期刊数据库