SAW谐振器传播属性的有限元仿真

作     者：黄小林 曹培 朱嘉林 HUANG Xiaolin;CAO Pei;ZHU Jialin

作者机构：北京信息科技大学传感技术研究中心北京100101 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2012年第34卷第4期

页      面：501-504页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 070205[理学-凝聚态物理] 070206[理学-声学] 1002[医学-临床医学] 082403[工学-水声工程] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0824[工学-船舶与海洋工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：北京市教育委员会科技计划面上基金资助项目(KM201110772010) 

主　　题：声表面波(SAW)谐振器 传播属性 有限元 ST切石英 

摘      要：首先从理论上阐述了声表面波(SAW)谐振器传播属性的有限元分析(FEA)法;然后利用ANSYS软件,对ST切石英晶片的SAW谐振器进行模态分析和谐响应分析;最后处理仿真结果并得到结论:通过合成表面节点横向和纵向的模态位移得出SAW中质点的运动轨迹是椭圆,通过模态频率和对应的波长算出SAW在ST切石英晶片中的传播速度,通过分析纵向节点模态位移得出SAW的能量集中在距表面2个波长深度的范围内,通过幅频特性图得出谐振器在SAW频率处具有最大的频率响应。这些结论与理论基本一致,为设计SAW器件和研究SAW传感器提供了仿真依据。