RF系统
出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)
年 卷 期：2006年第23卷第5期
页 面：45-45页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：RF系统 真空管放大器 RF功率 等离子工艺 优化布局 质量指标 功率控制 故障诊断 HPG 可靠性
摘 要：HPG是一种大功率RF功率供应平台，应用于大面积等离子工艺，经过了优化布局，该系统的质量指标和可靠性都得以改善，其先进之处还包括功率控制、测量和故障诊断方面的强大功能，它采用固态传动和真空管放大器。
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