负离子源及其应用
出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)
年 卷 期：1993年第2期
页 面：82-88页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：本文简要介绍了近年研制出的几种主要类型负离子源及其工作原理,重点是等离子溅射型重金属负离子源。概述了这些负离子源在材料科学中的应用前景,如离子注入和薄膜淀积等。
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