金刚石薄膜用钢基表面过渡层研究进展
Advances in the Research of Intermediate Layers of Steel Substrates for Diamond Films作者机构:太原理工大学表面工程研究所
出 版 物:《材料导报》 (Materials Reports)
年 卷 期:2006年第20卷第9期
页 面:86-88,97页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)]
基 金:山西省自然科学基金(20021054) 太原理工大学青年基金(190-100003)
摘 要:介绍了影响钢基表面金刚石薄膜沉积的不利因素,分析和综述了近10年来在提高金刚石薄膜质量以及薄膜粘结性等方面所采用的各种中间过渡层及其研究进展。过渡层可采用沉积法制备,也可采用表面改性法制备。过渡层可以制备成单层膜结构,也可制备成多层膜结构。对于不同的基底材料应选择不同的过渡层。