磁控溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)双面超导薄膜

作     者：王小平 刘援 王霈文 冯稷 林晨光 华志强 张朝兴 Wang Xiaoping;Liu Yuan;Wang Peiwen;Feng Ji;Lin Chenguang;Hua Zhiqiang;Zhang Chaoxing

作者机构：北京有色金属研究总院北京100088 香港城市大学物理及材料科学系 信息产业部第十六研究所合肥230043 

出 版 物：《稀有金属》 (Chinese Journal of Rare Metals)

年 卷 期：2000年第24卷第6期

页      面：470-473页

核心收录：

学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家超导中心资助项目 

主　　题：磁控溅射 双面超导薄膜 YBa2Cu3O7-x 

摘      要：采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89～ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS1mΩ(77K ,10GHz)。对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较。当O2 ∶Ar =1∶2 .5 ,衬底温度在80 0℃时 ,制备出了高质量的双面超导薄膜。同时对双面超导薄膜进行了微结构分析。用制备的 2 5mm× 2 0mm双面膜研制成功中频滤波器 ,中心频率为 1 0 6GHz时 ,插损为 0 6 7dB。