SiC长纤维表面(Al+Al_2O_3)复合涂层的制备

作     者：张露 石南林 宫骏 裴志亮 高立军 孙超 

作者机构：中国科学院金属研究所沈阳110016 

出 版 物：《金属学报》 (Acta Metallurgica Sinica)

年 卷 期：2011年第47卷第4期

页      面：497-501页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：SiC纤维 反应磁控溅射 扩散阻挡层 复合涂层 残余应力 

摘      要：利用反应磁控溅射法在SiC长纤维表面沉积了(Al+Al_2O_3)扩散阻挡涂层,研究了沉积工艺参数对涂层的成分、沉积速率的影响,以及涂层对SiC纤维的表面残余应力及力学性能的影响.结果表明,随着溅射功率的增加,Al_2O_3涂层的沉积速率先迅速增加后缓慢增加;随着工作气压的增加,Al_2O_3涂层的沉积速率先缓慢降低,在工作气压到达一定值时,沉积速率快速下降随后缓慢下降.沉积的(Al+Al_2O_3)复合涂层保护了SiC纤维的富C层,起到了保证纤维与Al_2O_3涂层之间结合力的作用;激光Raman谱显示改性后纤维的表面残余应力有降低趋势.室温和高温处理后复合丝的拉伸强度分别是计算值的97.69%和98.77%,涂层对纤维的力学性能影响很小.