α-Al_2O_3电容薄膜湿度传感器
A New Magneto Optical Card Storage System作者机构：电子科技大学材料分析中心
出 版 物：《电子科技大学学报》 (Journal of University of Electronic Science and Technology of China)
年 卷 期：1997年第26卷第4期
页 面：387-390页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0802[工学-机械工程]
基 金：电子部预研基金
摘 要：论述了氧化铝薄膜电容湿度传感器的性能，提出了采用α－Ａｌ２Ｏ３薄膜作湿敏层的新型氧化铝薄膜湿度传感器，简述了该湿敏元件的制备方法和基本特性。最后讨论了目前尚存在的问题。
维普期刊数据库
同方期刊数据库